Formation of vanadium oxide by ion implantation and heat treatment

鳴海 一雅; 山本 春也; 宮下 敦巳; 青木 康*; 楢本 洋

1998 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings, Vol.2, p.990 - 993, 1999/00

バナジウムは複数の配位数をとるため多くの酸化物が存在するが、その中でも数種類のものについては、温度によってその結晶構造が変化し、それに伴って、電気的・光学的特性が大きく変化することが知られている。本研究では、化学的に不活性なサファイア中での酸化バナジウム相の生成を目的として、サファイア基板にバナジウム及び酸素を注入、還元雰囲気中で熱処理を行い、基板及び注入元素の挙動の観察及び生成物の同定を行った。その結果、熱処理に対する基板及び注入元素の挙動は、基板の面方位、注入時の基板温度、バナジウムに対する酸素の注入量に依存することがわかった。また、サファイアのc-面については、バナジウムに対する酸素の注入量に依存して、生成する酸化物相が異なることを明らかにした。